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GEMÜ C53 iComLine Elektromotorisch betätigtes Regelventil (88701314)

Name: GEMÜ C53 iComLine Elektromotorisch betätigtes Regelventil (88701314)
Brand: Gemü
SKU: GEM.88701314
Price: 3173.08 EUR
Availability: OutOfStock

Artikelnummer: GEM.88701314

3.173,08 €

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Netto: 2.666,45 €

Herstellerinformationen:

GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG
Fritz-Müller-Straße 6–8
Baden-Württemberg
Ingelfingen, Deutschland, 74653
info@gemue.de
https://www.gemu-group.com/

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Das 2/2-Wege-Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der Halbleiterindustrie. Der präzise Schrittmotor eignet sich in Verbindung mit den hochreinen Körperwerkstoffen insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse sowie analytische Anwendungen in einer Halbleiterfertigung. Mehr Produktdetails

Beschreibung
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Produktinformationen

HAN:	88701314
Kategorie:	GEMÜ C53 iComLine Elektromotorisch betätigtes Regelventil
Werkstoff Ventilkörper:	PFA, Perfluoralkoxy
Typ:	Kunststoffsitzventil, elektrisch
Gehäuseform:	Zweiwege-Durchgangskörper
Anschlussart:	Flareanschluss mit Überwurfmutter PFA
Antriebsausführung:	Antriebsgröße 2 Sitzdurchmesser 9,55 mm
Regelmodul:	Stellungsregler 0-10V Fehlerposition Close
Spannung / Frequenz:	24 V DC
Ausführung High Purity:	High Purity
Anschlussgröße:	3/4", Code International: 12
Regelkegel:	1 m³/h - mod.EQ

Produktbeschreibung

C5312D7730 5C1V12AR3234 HP / 88701314

Beschreibung

Merkmale

Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F57

Technische Details

Medientemperatur:	10 bis 150 °C
Medientemperatur:	10 bis 150 °C
Umgebungstemperatur:	0 bis 40 °C
Betriebsdruck:	0 bis 6 bar
Anschlussgrößen:	1/4'' bis 3/4''
Körperformen:	Durchgangskörper
Anschlussarten:	Flare \| PrimeLock® \| Super 300 Type Pillar®
Körperwerkstoffe:	PFA \| PTFE
Dichtwerkstoff:	PTFE
Versorgungsspannung:	24 V DC
Eingangssignale:	0 - 10 V \| 4 - 20 mA
Stellgeschwindigkeit:	max. 2 mm/s
Schutzart:	IP65

Kontaktdaten

E-Mail*

Hersteller gemäß GPSR
GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG, Fritz-Müller-Straße 6–8, 74653 Ingelfingen, Baden-Württemberg, Deutschland, info@gemue.de, https://www.gemu-group.com/